Холдинг «Планар» готов разработать новую модель лазерного оборудования
МИНСК, 29 июля – ПраймПресс. Холдинг точного машиностроения «Планар», в рамках проекта, финансируемого из Белорусского инновационного фонда, разработает новую модель лазерного оборудования, не имеющего аналогов в мире. Об этом сообщил во время посещения предприятия председатель Государственного комитета по науке и технологиям Республики Беларусь (ГКНТ) Александр Шумилин.
Как сообщает пресс-служба ГКНТ, Шумилин также отметил, что в рамках государственных научно-технических программ холдингом реализуется ряд новых проектов и направлений. В частности, специалисты работают над новой технологией формирования микроизображений при помощи матрицы, содержащей более миллиона микрозеркал, каждое из которых управляется по отдельному алгоритму. Это позволит быстро формировать изображения с нанометровой точностью. Не менее интересный проект – разработка установки контроля привносимой дефектности, которая сможет при помощи оптического концентратора, выполненного на базе прецизионного эллиптического зеркала, улавливать малейшие частицы оптического излучения, возникающие в результате диффузного отражения от инородных частиц. Это, в свою очередь, сделает возможным обнаружение привнесенных дефектов нанометровых размеров.
«В развитие холдинга существенный вклад вносят работы, выполненные с использованием государственного финансирования. В рамках государственных научно-технических программ разработан и освоен в производстве модельный ряд новых образцов специального оборудования шестого технологического уклада, которые не имеют аналогов на постсоветском пространстве», – сказал Шумилин.
Так, разработанные технологии лазерно-стимулированного осаждения металло-органического вещества из газообразной фазы, а также технология наноструктурированной сублимации металлизированного маскирующего покрытия оригиналов топологии СБИС на фотошаблонах помогли создать лазерно-оптическое оборудование, признанное лучшим в мире после проведения сравнительных испытаний с американским и японским аналогами по методике мирового лидера в области производства фотошаблонов – американской компании «Фотроникс». В соответствии с данной методикой отечественный образец набрал 78 баллов, американский – 76 баллов, японский – 68,5 баллов. «В результате, образец данной установки успешно эксплуатируется на новом заводе, построенном американо-японо-тайваньским консорциумом в Китае, две установки поставлены в Тайвань. Установка показала высокие эксплуатационные характеристики: коэффициент готовности, при трехсменном режиме работы по результатам первого года эксплуатации составил более 97%; обеспечена полная совместимость с контролируемой средой уровня ISO-1 (самый высокий класс чистоты помещений в соответствии с международным стандартом SEMI)», — говорится в сообщении.
В настоящее время проводятся переговоры и предконтрактное тестирование с рядом компаний США, Японии, Тайваня и Китая для заключения контрактов на поставку подобного оборудования.
Предприятие «Планар» работает с 1962 г, в 1971 г было образовано научно-производственное объединение «Планар» во главе с КБТЭМ, в декабре 2013 г создано открытое акционерное общество «Планар» с долей государства 100%, которое выполняет функции управляющей компании научно-производственного холдинга точного машиностроения «Планар». На предприятии создана научная школа в области проектирования специального технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства изделий микро- и наноэлектроники, основанного на лазерно-оптических технологиях и технологиях прецизионной механики.
Иллюстрационное фото sputnik.by